¼ºÀüÀÚ°¡ ÇöÁ¸ ¼¼°è ÃÖ´ë ±Ô¸ð ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê½Ã¼³ÀÎ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º 3¶óÀÎÀ» º»°Ý °¡µ¿¿¡ µé¾î°¬´Ù.
8ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ µû¸£¸é ÃÖ±Ù ±âÈï R&D ´ÜÁö ±â°ø½ÄÀ» °³ÃÖÇÏ´Â µî °Ýȵǰí ÀÖ´Â ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼ °æÀï ¿ìÀ§¸¦ Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¿¬±¸°³¹ßÀº ¹°·Ð Á¦Á¶ ¿ª·®±îÁö ºü¸£°Ô °ÈÇØ ³ª°¡°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2020³â ¸»ºÎÅÍ ±âÃÊ°ø»ç¿¡ µé¾î°£ ÆòÅà 3¶óÀο¡ Áö³ 7¿ùºÎÅÍ ³½µåÇ÷¡½Ã ¾ç»ê ½Ã¼³À» ±¸ÃàÇÏ°í ¿þÀÌÆÛ ÅõÀÔÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù.
ÀÌ´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 2002³â ³½µåÇ÷¡½Ã ½ÃÀå Á¡À¯À² 1À§ µî±Ø ÀÌÈÄ, 20³âµ¿¾È Çѹøµµ 1À§ ÀÚ¸®¸¦ ³»ÁÖÁö ¾ÊÀ» ¸¸Å µ¶º¸ÀûÀÎ °æÀï·ÂÀ» À¯ÁöÇØ¿À°í ÀÖ´Â ÀÌÀ¯´Ù.
À̹ø ÆòÅà 3¶óÀÎ ³½µåÇ÷¡½Ã ¾ç»êÀ» ÅëÇØ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀº ´õ¿í °ÈµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â ¡°ÇâÈÄ ½ÃÀå ¼ö¿ä¿¡ ¸ÂÃç ÆòÅà 3¶óÀο¡ EUV °øÁ¤ ±â¹ÝÀÇ D·¥°ú 5³ª³ë ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ µî ´Ù¾çÇÑ Ã·´Ü »ý»ê½Ã¼³À» È®´ë ±¸ÃàÇØ ³ª°¥ °èȹ¡±À̶ó¸ç ¡°ÆòÅà 3¶óÀÎ °¡µ¿»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ Àû±â ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ 4¶óÀÎ Âø°øÀ» À§ÇÑ ÁغñÀÛ¾÷µµ Âø¼öÇÒ ¿¹Á¤¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º´Â ÃÑ ¸éÀûÀÌ 87¸¸Æò¿¡ À̸£´Â ´ëÇü ´ÜÁö·Î ±âÈïÄ·ÆÛ½º(44¸¸Æò)¿Í ȼºÄ·ÆÛ½º(48¸¸Æò)ÀÇ ¸éÀûÀ» ÇÕÄ£ ¼öÁØÀÌ´Ù. ÇöÀç °¡µ¿ÁßÀÎ 3°³ ¶óÀÎ ¿Ü¿¡ Ãß°¡·Î 3°³ÀÇ ´ëÇü ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê½Ã¼³ÀÌ µé¾î¿Ã ¼ö ÀÖ¾î, ´ëÇѹα¹ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ °±¹À¸·Î °Åµì³ª´Âµ¥ ÇÙ½É ÀüÃʱâÁö ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.